Pengantar Sensor Tekanan

Sensor tekanan adalah suatu alat atau perangkat yang dapat merasakan sinyal tekanan dan mengubah sinyal tekanan tersebut menjadi sinyal listrik keluaran yang tersedia menurut hukum tertentu.

Sensor tekanan biasanya terdiri dari elemen penginderaan tekanan dan unit pemrosesan sinyal. Sensor tekanan dapat dibagi menjadi sensor tekanan pengukur, sensor tekanan diferensial dan sensor tekanan absolut.

Sensor tekanan adalah sensor yang paling umum digunakan dalam praktik industri, banyak digunakan dalam berbagai lingkungan kontrol otomatis industri, yang melibatkan pemeliharaan air, pembangkit listrik tenaga air, lalu lintas kereta api, bangunan cerdas, kontrol otomatis produksi, dirgantara, militer, petrokimia, sumur minyak, tenaga listrik , kapal, peralatan mesin, jaringan pipa dan industri lainnya. Berikut adalah beberapa prinsip sensor umum dan penerapannya. Ada juga sensor tekanan medis.

Kategori:

Sensor tekanan merupakan salah satu sensor yang paling banyak digunakan. Sensor tekanan tradisional pada dasarnya adalah perangkat struktur mekanis, deformasi elemen elastis menunjukkan tekanan, tetapi ukuran strukturalnya besar, massanya berat, dan keluaran listrik tidak dapat disediakan. Dengan berkembangnya teknologi semikonduktor, muncul pula sensor tekanan semikonduktor. Hal ini ditandai dengan ukurannya yang kecil, ringan, akurasi tinggi dan karakteristik suhu yang baik. Apalagi dengan berkembangnya teknologi MEMS, sensor semikonduktor telah berkembang menjadi miniaturisasi, konsumsi daya yang rendah, dan keandalan yang tinggi.

1. Pemancar tekanan silikon difusi.

Pemancar tekanan silikon terdifusi dibuat dengan mengemas elemen sensitif tekanan piezoresistif silikon terisolasi dalam wadah baja tahan karat. Ini dapat mengubah tekanan cairan atau gas yang dirasakan menjadi keluaran listrik standar.

2. Semikonduktor tipe piezoresistif.

Sensor tekanan difusi impedansi piezoelektrik semikonduktor membentuk tekanan deformasi semikonduktor pada permukaan wafer, dan mengubah bentuk wafer dengan gaya eksternal (tekanan), menghasilkan efek impedansi piezoelektrik, dan mengubah perubahan impedansi menjadi sinyal listrik.

3. Jenis kapasitas elektrostatis.

Sensor tekanan kapasitas elektrostatis membentuk kapasitansi antara kutub tetap kaca dan kutub silikon yang dapat digerakkan, dan mengubah perubahan kapasitas elektrostatis yang disebabkan oleh deformasi kutub bergerak menjadi sinyal listrik.